晶圆转运机器人
基于玖物高精度移动平台搭载6轴高精度协作臂,臂展超过1700mm,可保证10小时以上不间断的工作运行。
与MES系统对接,设备间通讯无障碍。
满足百级洁净,无人工干预接触解决晶圆转运的难题
助力芯片智能制造,提升产能与质量。
半导体
电子半导体
晶圆转运机器人
基于玖物高精度移动平台搭载6轴高精度协作臂,臂展超过1700mm,可保证10小时以上不间断的工作运行。
与MES系统对接,设备间通讯无障碍。
满足百级洁净,无人工干预接触解决晶圆转运的难题
助力芯片智能制造,提升产能与质量。
半导体
电子半导体